国产真空泵打破海外垄断半导体领域市占率首破30%

更新日期：2025/11/24

中国电子报 2025年11月24日核心元器件版作为工业制造的“心脏动力设备”，真空泵在半导体芯片制造、新能源电池封装、生物医药冻干等高端领域不可或缺。长期以来，全球高端真空泵市场被德国普旭、日本爱德华等海外企业主导，国内企业多局限于中低端市场。如今这一格局正在被打破——据中国通用机械工业协会真空设备分会最新数据，2025年三季度，国产高端真空泵在半导体领域市占率首次突破30%，其中中科科仪、汉钟精机等龙头企业的产品已批量进入中芯国际、华虹半导体等头部晶圆厂生产线。

技术攻坚：从“卡脖子”到“并跑”的突破之路

半导体芯片制造的离子注入、薄膜沉积等关键工序，对真空泵的极限真空度、抽气速率稳定性及耐腐蚀性要求极高，此前全球仅有3家海外企业能实现量产供应。“十年前，国产真空泵在半导体车间连‘入场资格’都没有，核心技术壁垒集中在精密转子加工、腔体密封材料等方面。”中科科仪真空技术研究院院长王健介绍，企业联合清华大学、哈尔滨工业大学组建专项攻关组，历时八年突破“磁悬浮轴承”“碳化硅涂层”两大核心技术，成功研发出分子真空泵和干泵两大系列高端产品。

其中，中科科仪推出的ZJ-800型分子真空泵，极限真空度达到10⁻¹¹Pa，抽气速率较海外同类产品提升15%，而成本降低近40%；汉钟精机研发的半导体专用干泵，通过“无油润滑”技术创新，解决了传统真空泵油污污染晶圆的行业痛点，已通过台积电14nm制程工艺验证。截至2025年10月，两家企业的高端真空泵累计交付量超2万台，打破了海外企业的长期价格垄断。

场景驱动：新能源与生物医药打开增长新空间

除半导体领域外，新能源产业的爆发式增长为真空泵行业带来了新的增长极。在动力电池制造中，电极涂布、电芯注液等工序需要高真空环境保障产品性能，国内真空泵企业针对性推出定制化解决方案。“我们为宁德时代研发的动力电池专用真空泵，通过智能压力控制系统，可将电芯注液环节的真空保持精度控制在±0.1Pa，助力电池能量密度提升5%。”汉钟精机新能源事业部负责人表示，2025年企业新能源领域真空泵营收同比增长68%，成为第二大核心业务板块。

生物医药领域的需求同样旺盛。随着冻干制剂、生物疫苗产能扩张，对真空冻干机配套真空泵的需求激增。上海真空泵厂研发的耐腐蚀真空泵，采用特种合金材料制造腔体，可适应生物医药生产中的酸性、碱性工艺环境，产品已供应国药集团、恒瑞医药等企业，市场占有率连续三年位居国内第一。数据显示，2025年1-10月，国内真空泵市场整体规模达186亿元，其中高端市场增速超25%，新能源、生物医药贡献了近60%的增量。

政策与生态：国产替代加速的双重保障

国产真空泵的快速崛起，离不开政策支持与产业生态的协同发力。在“十四五”高端装备制造业发展规划中，真空泵被列入“重点突破的核心零部件”清单，国家发改委对符合条件的研发项目给予最高30%的资金补贴；地方层面，江苏、广东等地设立真空设备产业园区，提供土地、税收等配套优惠政策，吸引上下游企业集聚。

产业生态的完善进一步加速了国产替代进程。目前，国内已形成“核心部件-整机制造-运维服务”的完整产业链，上游的精密轴承、密封件国产化率从2019年的不足20%提升至如今的55%；下游的晶圆厂、电池厂通过“联合研发”模式，为国产真空泵企业提供应用场景和改进反馈。中国通用机械工业协会相关负责人表示，“以应用促研发、以研发降成本”的良性循环，正在推动国产真空泵从“可用”向“好用”“耐用”升级。

未来展望：瞄准全球市场构建竞争优势

面对全球高端装备市场的竞争，国内真空泵企业正加快“走出去”步伐。中科科仪在德国慕尼黑设立研发中心，吸纳海外高端技术人才，其分子真空泵已进入欧洲半导体企业供应链；汉钟精机在东南亚建设生产基地，服务当地新能源电池产业集群，2025年海外营收占比预计突破20%。

行业专家指出，随着工业4.0与智能制造的推进，真空泵正朝着“智能化、小型化、低能耗”方向发展。国内企业需持续聚焦核心技术研发，提升产品可靠性与服务能力，未来3-5年，国产高端真空泵在全球市场的份额有望突破15%，成为全球真空设备领域的重要一极。

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